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怎么建造一個百級芯片無塵車間廠房

文章出處:弘煒凈化 人氣: 發表時間:2020-11-19 14:56
芯片制造屬于光電半導體行業,有專門的芯片無塵車間廠房,其生產車間需要達到百級無塵車間。

制造芯片到底有多難?
制作一顆芯片的生產線是非常復雜的,大約會涉及到五十個行業、2000-5000個工序;就拿代工廠來說,需要先將“砂子”提純成硅,再切成晶元,然后加工晶元;晶元加工廠包含前后兩道工藝,前道工藝分幾大模塊——光刻、薄膜、刻蝕、清洗、注入;后道工藝主要是封裝——互聯、打線、密封;光刻是制造和設計的紐帶;其中許多工藝都在獨立的工廠進行,而使用的設備也需要專門的設備廠制造;使用的材料包括幾百種特種氣體、液體、靶材,都需要專門的化工工業;另外,集成電路的生產都是在超凈無塵車間進行的,因此還需要排風和空氣凈化等系統。

芯片無塵車間


芯片廠對于生產環境的空氣潔凈度非常挑剔,就算是一粒小小的粉塵,粘在芯片上也可能造成短路,進而直接影響成品率;粉塵的危害尚且如此,空氣中的化學污染就更不用說了;因此,芯片生產一般是在無塵室中進行,并且生產芯片的無塵車間潔凈度必須達到百級。

潔凈度百級無塵車間的標準:
大于等于0.5μm的塵粒數大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L);大于等于5μm的塵粒數為0;
微生物最大允許數:浮游菌每立方米不能超過5個;
溫度:22℃±2;
濕度:55%±5;
基本需要滿布FFU,做高架地板;
做MAU+FFU+DC系統,還有保持正壓,相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右;
百級無塵車間若非得用換氣次數來衡量的話200次/h以上;
百級無塵車間若是以層流風速來說的話>0.35 m/s;
百級無塵車間若以HEPA高效空氣過濾器對吊頂覆蓋率的話>50%。
芯片無塵車間

以上就是芯片無塵車間制造需要達到百給無塵車間的一些基本參數。

百級無塵車間

弘煒凈化工程專業從事100-30萬級無塵車間廠房裝修,承接芯片無塵車間、半導體無塵車間、氣體激光無塵車間、光學無塵車間等凈化工程。

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